SenoFab

Förderprojekt des Freistaats Sachsen

SenoFab1 – Pilotlinienentwicklung für Material Sensing 

Senorics möchte mit den einzigartigen Merkmalen seiner Technologie zur Herstellung von Spektralsensoren auf Basis organischer Elektronik für verschiedenste Material Sensing Anwendungen punkten. Um dies zu ermöglichen, muss der Chip kostengünstig hergestellt werden. Dies ist möglich, wenn er in entsprechend großen Stückzahlen produziert wird. Auch diese Skalierbarkeit ist ein wichtiges Merkmal der Technologie. 

Erste Anwendungsfälle mit großen Stückzahlen sind bereits vorbereitet. Nun muss der Herstellungsprozess aus dem Labor in die Massenfertigung gebracht werden. Um die Serienfertigung der Senorics Sensorchips vorzubereiten, muss zunächst die Pilotlinie aufgebaut werden. Mit der in diesem Vorhaben geplanten Pilotlinie können bereits mehrere 10.000 Stück pro Jahr hergestellt werden.

Es muss jedoch sichergestellt werden, dass der Herstellungsprozess fehlerfrei auf der Pilotlinie ausgerollt werden kann. Dafür sind zahlreiche Untersuchungen an einzelnen organischen Schichten und eine ausführliche und serienfertigungstaugliche Charakterisierung der Chips vorgesehen. Darüber hinaus werden die Prozesse für den Fertigungsalltag definiert und installiert, sowie eine intensive Fertigungs- und Yieldanalyse durchgeführt. 

Neben der Herstellung der Sensorchips und der Entwicklung der dazugehörigen Prozesse, ist für die Vorbereitung der Serienreife ein weiterer Punkt entscheidend. Zur Übersetzung der gemessenen Spektralinformation sind spezielle Algorithmen notwendig, welche vorher mit Hilfe von Referenzmessungen erstellt werden müssen. Diese sogenannten chemometrischen Modelle müssen auf allen Geräten, trotz Fertigungstoleranzen, gleich gut funktionieren. In diesem Vorhaben werden daher besondere Verfahren entwickelt, die diesen Modelltransfer sicherstellen. Dafür werden auch Pilotmodelle für konkrete Anwendungen entwickelt, an denen dieser Transfer schließlich getestet werden kann. 

Für das Vorhaben, das bis Mitte 2022 abgeschlossen sein soll, stellt der Freistaat Sachsen im Rahmen seines Programms zu Förderung von KETs-Pilotlinien eine Summe von knapp 2 Millionen Euro zur Verfügung.  

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